Inicjatywa Doskonałości - Uczelnia Badawcza
Kontaktul. Gagarina 7, 87-100 Toruń
tel.: +48 56 611-43-02
fax: +48 56 611-45-26
e-mail: wydzial@chem.umk.pl
zdjęcie nagłówkowe

Wysokorozdzielcza skaningowa mikroskopia elektronowa (HR-SEM)

Skaningowy mikroskop elektronowy SEM/FIB (ang. scanning electron microscope / focused ion beam) Quanta 3D FEG to hybrydowy instrument do dwu i trójwymiarowej charakterystyki materiałów, trawienia jonami i przygotowywania lamelek (SEM, FIB, GIS) do TEM.

Podstawowe parametry mikroskopu:

  • zakres napięć przyspieszających: 200V-30 kV,
  • działo z emisją polową (Schottky FEG),
  • zdolność rozdzielcza: 1,2 nm,
  • trzy tryby próżniowe (wysoka próżnia, zmienna próżnia, tryb ESEM*).
Techniki pracy:
  • SEM (obrazowanie skaningowe),
  • STEM (obrazowanie transmisyjne),
  • Mikromanipulacja (Omniprobe),
  • Trawienie jonami galu (FIB ang. focused ion beam)
  • Podawanie gazu roboczego platyny(GIS ang. gas injection system)
Typy detektorów:
  • ETD detektor wysokoprózniowy (detekcja sygnałów SE i BSE**)
  • LVSED detektor niskopróżniowy (detekcja sygnałów SE i BSE)
  • GSED detektor trybu ESEM (detekcja sygnałów SE)
  • BSED detektor wysoko i zmiennopróżniowy (detekcja sygnałów BSE)
  • STEM (detekcja sygnałów BF, DF oraz HAADF***) ang. bright field, dark field oraz high angle annular dark field),
Wyposażenie dodatkowe:
  • Skaningowy mikroskop elektronowy z spektrometrem EDX  (SEM/EDX)
  • Urządzenie do czyszczenia plazmowego Fischione Plasma Cleaner 1020
  • napylarka do nanoszenia nanometrycznych warstwy złota z palladem SC7620 oraz węgla CA7625, produkcji Quorum Technologies
Obrazy analizowanej powierzchni rejestrowane są w postaci cyfrowej, co daje możliwość szybkiego przesyłania wyników analiz np. e-mailem.
Pracownia wykonuje zlecone usługi naukowo-badawcze dla pracowników Wydziału Chemii UMK oraz innych jednostek naukowych. Posiadamy bogate doświadczenie w analizach dla sektora gospodarki.
Opłaty za wykonanie analiz są uzgadniane indywidualnie w zależności od: cech próbki, liczby powiększeń, konieczności specjalnego przygotowania próbki itp.

W celu uzyskania dalszych informacji prosimy o kontakt z:
mgr Jolantą Wółkiewicz
tel: (56) 611-48-32
email: jolanta.wolkiewicz@umk.pl

Zlecenie na analizę dla studentów i pracowników Wydziału Chemii UMK:

Zlecenie-SEM (114 KB)

* wysoka próżnia <6×10-4Pa, zmienna próżnia 10-130 Pa, tryb ESEM 10-4000Pa
** SE ang. secondary electrons, BSE ang. backscattered electrons
*** BF ang. DF oraz HAADF***) ang. bright field, dark field oraz high angle annular dark field),