Mikroskopia korelacyjna – przykładowe badania

Krzem z warstwą nanorurek węglowych

• Materiał: Powierzchnia krzemu (Si) z warstwą wielościennych nanorurek węglowych (C) w postaci wysp
• Metody: mikroskopia świetlna (LM), skaningowa mikroskopia elektronowa sprzężona z spektrometrem rentgenowskim SmartEDX (SEM-EDS)
• Opis: Korelacja obrazu z mikroskopu świetlnego z mapą rozkładu węgla

Przekrój warstwy malarskiej

• Materiał: Przekrój warstwy malarskiej zabytkowego obrazu
• Metody: mikroskopia świetlna (LM), skaningowa mikroskopia elektronowa sprzężona z spektrometrem rentgenowskim SmartEDX (SEM-EDS)
• Opis: Korelacja obrazu z mikroskopu świetlnego z mapą rozkładu pierwiastków ołowiu (Pb), potasu (K) i miedzi (Cu)

• Materiał: Przekrój warstwy malarskiej zabytkowego obrazu
• Metody: skaningowa mikroskopia elektronowa (detektor HDBSE) sprzężona z spektrometrem rentgenowskim SmartEDX (SEM-EDS)
• Opis: Powiększenie 1 000x, obraz elektronów wstecznie rozproszonych (BSE) w kontraście topograficzno-materiałowym (TOPO-COMPO) wraz z mapą pierwiastków glin (Al, niebieski), krzem (Si, fiolet), wapń (Ca, turkusowy), żelazo (Fe, czerwony) miedź (Cu, zielony)

Druk 3D

• Materiał: Powierzchnia wydruku z materiału polimerowego powstała w drukarce 3D
• Metody: skaningowa mikroskopia elektronowa (SEM), detektor HDBSE
• Opis: Powiększenie 112x, obraz elektronów wstecznie rozproszonych (BSE) w kontraście topograficzno-materiałowym (TOPO-COMPO)

• Materiał: Powierzchnia wydruku z materiału polimerowego powstała w drukarce 3D
• Metody: mikroskopia świetlna (LM)
• Opis: obraz stereoskopowy w świetle odbitym, powiększenie 112x

• Materiał: Powierzchnia wydruku z materiału polimerowego powstała w drukarce 3D
• Metody: skaningowa mikroskopia elektronowa (SEM), detektor HDBSE
• Opis: Powiększenie 2 000x, obraz elektronów wstecznie rozproszonych (BSE) w kontraście topograficzno-materiałowym (TOPO-COMPO)

Węgiel aktywny

• Materiał: Powierzchnia granulowanego węgla aktywnego
• Metody: skaningowa mikroskopia elektronowa (SEM), detektor ETSE
• Opis: Powiększenie 300x, obraz elektronów wtórnych (SE) w kontraście topograficznym (TOPO)

• Materiał: Powierzchnia granulowanego węgla aktywnego
• Metody: skaningowa mikroskopia elektronowa (SEM), detektor ETSE
• Opis: Powiększenie 50 000x, obraz elektronów wtórnych (SE) w kontraście topograficznym (TOPO)

• Materiał: Powierzchnia granulowanego węgla aktywnego
• Metody: skaningowa mikroskopia elektronowa (SEM), detektor ETSE
• Opis: Powiększenie 200 000x, obraz elektronów wtórnych (SE) w kontraście topograficznym (TOPO)

Chip

• Materiał: Powierzchnia układu scalonego
• Metody: mikroskopia świetlna (LM)
• Opis: Powiększenie 112x, obraz stereoskopowy w świetle odbitym

• Materiał: Powierzchnia układu scalonego
• Metody: skaningowa mikroskopia elektronowa (SEM), detektor HDBSE
• Opis: Powiększenie 186x, obraz elektronów wstecznie rozproszonych (BSE) w kontraście topograficzno-materiałowym (TOPO-COMPO)

• Materiał: Powierzchnia układu scalonego
• Metody: mikroskopia świetlna (LM), skaningowa mikroskopia elektronowa (SEM) detektor HDBSE
• Opis: Korelacja obrazu z mikroskopu świetlnego i skaningowego mikroskopu elektronowego

• Materiał: Powierzchnia układu scalonego
• Metody: skaningowa mikroskopia elektronowa (SEM, detektor HDBSE) sprzężona z spektrometrem rentgenowskim SmartEDX (EDS)
• Opis: Cztery obrazy tego samego obszaru, (1) elektronów wstecznie rozproszonych w kontraście topograficzno-materiałowym (TOPO-COMPO) oraz mapy rozkładu pierwiastków (2) azot (N, zółty), (3) tytan (Ti, fioletowy), (4) krzem (Si, czerwony)

Masa tabletkowa

• Materiał: Powierzchnia sprasowanej mieszaniny masy tabletkowej
• Metody: skaningowa mikroskopia elektronowa (SEM), detektor HDBSE
• Opis: Powiększenie 5020x, obraz elektronów wstecznie rozproszonych (BSE) w kontraście topograficzno-materiałowym (TOPO-COMPO)

• Materiał: Powierzchnia sprasowanej mieszaniny masy tabletkowej
• Metody: mikroskopia świetlna (LM), skaningowa mikroskopia elektronowa (SEM) detektor HDBSE
• Opis: Korelację obrazu z mikroskopu świetlnego z obrazem elektronów wstecznie rozproszonych (BSE) w kontraście topograficzno-materiałowym (TOPO-COMPO)

• Materiał: Powierzchnia sprasowanej mieszaniny masy tabletkowej
• Metody: mikroskopia świetlna (LM), skaningowa mikroskopia elektronowa (SEM) detektor HDBSE sprzężona z spektrometrem rentgenowskim SmartEDX (EDS)
• Opis: Korelację obrazu z mikroskopu świetlnego z obrazem elektronów wstecznie rozproszonych (BSE) w kontraście topograficzno-materiałowym (TOPO-COMPO) oraz mapa rozkładu krzemu (Si, różowy)

• Materiał: Powierzchnia sprasowanej mieszaniny masy tabletkowej
• Metody: mikroskopia świetlna (LM), skaningowa mikroskopia elektronowa (SEM) detektor HDBSE sprzężona z spektrometrem rentgenowskim SmartEDX (EDS)
• Obraz: Korelację obrazu z mikroskopu świetlnego z obrazem elektronów wstecznie rozproszonych (BSE) w kontraście topograficzno-materiałowym (TOPO-COMPO) oraz mapy rozkładu pierwiastków żelaza (Fe, czerwony), azotu (N, żółty górny), tlenu (O, niebieski), tytanu (Ti, żółty dolny) krzemu (Si, różowy)

Warstwa miedzi i srebra na powierzchni płytki krzemowej

• Materiał: Powierzchnia warstwy metalicznej Cu-Ag naniesiona metoda CVD na nośniku krzemowym z widocznymi otworami wykonanymi laserowo
• Metody: skaningowa mikroskopia elektronowa (SEM), detektor HDBSE
• Opis: Powiększenie 246x, obraz elektronów wstecznie rozproszonych (BSE) w kontraście topograficzno-materiałowym (TOPO-COMPO)

• Materiał: Powierzchnia warstwy metalicznej Cu-Ag naniesiona metoda CVD na nośniku krzemowym z widocznymi otworami wykonanymi laserowo
• Metody: skaningowa mikroskopia elektronowa (SEM), detektor ETSE
• Opis: Powiększenie 246x, obraz elektronów wtórnych (SE) w kontraście topograficznym (TOPO)

• Materiał: Powierzchnia warstwy metalicznej Cu-Ag naniesiona metoda CVD na nośniku krzemowym z widocznymi otworami wykonanymi laserowo
• Metody: skaningowa mikroskopia elektronowa (SEM), detektor HDBSE
• Opis: Powiększenie 2 000x, obraz elektronów wstecznie rozproszonych (BSE) w kontraście topograficzno-materiałowym (TOPO-COMPO)

• Materiał: Powierzchnia warstwy metalicznej Cu-Ag naniesiona metoda CVD na nośniku krzemowym
• Metody: skaningowa mikroskopia elektronowa (SEM), detektor HDBSE
• Opis: Powiększenie 8 000x, obraz elektronów wtórnych w kontraście topograficznym (TOPO)

• Materiał: Powierzchnia warstwy metalicznej Cu-Ag naniesiona metoda CVD na nośniku krzemowym
• Metody: skaningowa mikroskopia elektronowa (SEM), detektor HDBSE
• Opis: Powiększenie 8 000x, obraz elektronów wstecznie rozproszonych (BSE) w kontraście topograficzno-materiałowym (TOPO-COMPO)

• Materiał: Powierzchnia warstwy metalicznej Cu-Ag naniesiona metoda CVD na nośniku krzemowym
• Metody: skaningowa mikroskopia elektronowa (SEM), detektor HDBSE
• Opis: Powiększenie 8 000x, obraz elektronów wstecznie rozproszonych (BSE) w kontraście topograficzno-materiałowym (TOPO-COMPO) wraz z mapami rozkładu pierwiastków srebro (Ag, żółty) i miedz (Cu, niebieski) oraz srebro i miedz na jednym obrazie

• Materiał: Powierzchnia warstwy metalicznej Cu-Ag naniesiona metoda CVD na nośniku krzemowym z widocznymi otworami wykonanymi laserowo
• Metody: mikroskopia świetlna (LM), skaningowa mikroskopia elektronowa (SEM), detektor HDBSE
• Obraz: Korelację obrazu z mikroskopu świetlnego z obrazem elektronów wstecznie rozproszonych (BSE) w kontraście topograficzno-materiałowym (TOPO-COMPO)

• Materiał: Powierzchnia warstwy metalicznej Cu-Ag naniesiona metoda CVD na nośniku krzemowym
• Metody: skaningowa mikroskopia elektronowa (SEM), detektor HDBSE sprzężona z spektrometrem rentgenowskim SmartEDX (EDS)
• Opis: Powiększenie 20 000x, obraz elektronów wstecznie rozproszonych (BSE) w kontraście topograficzno-materiałowym (TOPO-COMPO) wraz z analizą rozkładu pierwiastków po linii Si (żółty), Ag (niebieski) i Cu (czerwony)

Nanorurki TiO₂ z kobaltem

• Materiał: Powierzchnia tytanu z nanorurkami TiO₂ domieszkowanymi kobaltem (Co)
• Metody: skaningowa mikroskopia elektronowa sprzężona z spektrometrem rentgenowskim SmartEDX (SEM-EDS) detektor ETSE z widmem obszaru
• Opis: Powiększenie 50 000x, obraz elektronów wtórnych (SE) w kontraście topograficznym (TOPO) wraz z analizą składu chemicznego (pierwiastkowego)

• Materiał: Powierzchnia tytanu z nanorurkami TiO₂ domieszkowanymi kobaltem (Co)
• Metody: skaningowa mikroskopia elektronowa sprzężona z spektrometrem rentgenowskim SmartEDX (SEM-EDS) detektor ETSE i HDBSE
• Opis: Powiększenie 20 000x, obraz (lewy) elektronów wtórnych (SE)w kontraście topograficznym (TOPO), obraz (prawy) elektronów wstecznie rozproszonych (BSE) w kontraście topograficzno-materiałowym (TOPO-COMPO)